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真空核心零部件

APC自動(dòng)控壓蝶閥
自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)蝶閥應(yīng)用于真空腔室壓力調(diào)節(jié)或真空隔斷。閥板作為調(diào)節(jié)元件，不同的角度位置改變閥門通徑中氣體流導(dǎo)的大小，實(shí)現(xiàn)泵有效抽速的調(diào)節(jié)。自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)蝶閥根據(jù)客戶腔體容積、流量等參數(shù)，通過(guò)特殊算法，建立壓力控制參數(shù)。用戶輸入工藝壓力，自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)蝶閥根據(jù)內(nèi)部算法調(diào)整閥板位置，快速實(shí)現(xiàn)工藝壓力的動(dòng)態(tài)平衡。

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